氮化鋁（AlN）導(dǎo)熱盤因其高熱導(dǎo)率、高電絕緣性和良好機械強度，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域 高效熱管理 晶圓加熱／冷卻盤 在化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）或退火爐中，AlN 導(dǎo)熱盤均勻傳導(dǎo)加熱器產(chǎn)生的熱量，保證爐內(nèi)溫度分布均勻，進而提升薄膜均勻性與工藝重復(fù)性。